Tibco News, 6월 30일, 네덜란드 정부는 반도체 장비 수출 통제에 관한 최신 규정을 발표했으며, 일부 언론에서는 이를 중국에 대한 포토리소그래피 통제가 다시 모든 DUV로 확대된 것으로 해석했습니다.실제로 이러한 새로운 수출 통제 규정은 최첨단 ALD 원자 증착 장비, 에피택셜 성장 장비, 플라즈마 증착 장비 및 침지 리소그래피 시스템을 포함한 고급 45nm 이하의 칩 제조 기술과 사용된 기술, 소프트웨어를 대상으로 합니다. 이러한 첨단 장비를 사용하고 개발합니다.
Tibco에 보낸 성명에서 ASML은 네덜란드 정부의 새로운 수출 통제 규정이 TWINSCAN NXT:2000i 및 후속 침지 리소그래피 시스템을 포함한 최신 DUV 모델 중 일부에만 적용된다는 점을 강조했습니다.EUV 리소그래피는 이전에 제한되었으며 다른 시스템의 배송은 네덜란드 정부에 의해 통제되지 않습니다.ASML 공식 웹사이트 정보에 따르면 TWINSCAN NXT:2050i, NXT:2050i, NXT:1980Di 3개의 리소그래피 기계를 포함한 DUV 침지 리소그래피 시스템은 38nm ~ 45nm 프로세스 웨이퍼 처리를 수행할 수 있습니다.
또한 TWINSCAN XT:400L, XT:1460K, NXT:870 등 65nm~220nm 공정 등 45nm 이상 웨이퍼 가공이 가능한 건식 DUV 노광기는 네덜란드 제재 목록에 포함되지 않습니다.
Tibco가 번역한 네덜란드 통제 목록은 다음과 같습니다.
네덜란드 대외 무역 개발 협력부 장관이 발행한 규정 MinBuza.2023.15246-27은 규정 번호 2021/821의 부록 I에 이전에 언급되지 않은 반도체용 고급 생산 장비 수출에 대한 허가 요건을 제공합니다(첨단 반도체 관련). 제조 장비)
제2조: 이 규정은 장관의 허가 없이 네덜란드로부터 첨단 반도체 생산 장비를 수출하는 것을 금지합니다.
제3조:
1. 제2조에 따른 허가 신청은 수출자가 작성하여 검사에게 제출해야 합니다.
2. 어떠한 경우에도 신청서에는 다음이 포함되어야 합니다.
a) 수출자의 이름과 주소
b) 첨단 반도체 제조 장비 수령인 및 최종 사용자의 이름과 주소
c) 첨단 반도체 제조 장비의 수령인 및 최종 사용자의 이름과 주소.
3, 어떠한 경우에도 검사는 수출자에게 수출 계약 및 최종 사용에 관한 진술서를 제공하도록 요청할 권리가 있습니다.
제4조:
제2조에 설명된 라이센스에는 조건 및 조항이 적용될 수 있습니다.
제2조에 설명된 라이센스 부여는 자격이 있을 때 가능합니다.
제5조:
제2조에 언급된 라이센스는 다음과 같은 경우 취소될 수 있습니다.
a) 부정확하거나 불완전한 정보를 바탕으로 라이센스가 발급되었습니다.
b) 라이센스의 조건 및 제한 사항을 따르지 않았습니다.
c) 국가 외교 및 안보 정책상의 이유로.
게시 시간: 2023년 7월 2일